美新半導(dǎo)體（MEMSIC）最新一代的磁傳感器MMC5603NJ是基于先進(jìn)的AMR技術(shù)的單芯片集成的三軸磁傳感器，晶圓級(jí)封裝, 是世界上迄今已知最小尺寸（0.8x0.8x0.4mm）的磁傳感器。多項(xiàng)美新所獨(dú)有的新技術(shù)和新工藝被應(yīng)用在MMC5603NJ這顆磁傳感器上。
1、高度集成的單芯片設(shè)計(jì)
早期的MEMS磁傳感器需要兩個(gè)MEMS的Die(一個(gè)感測(cè)X/Y軸的磁場(chǎng)，另一個(gè)感測(cè)Z軸磁場(chǎng))和一個(gè)用來(lái)處理信號(hào)的ASIC的Die。這樣的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積大、且成本高。隨著設(shè)計(jì)和制造工藝技術(shù)的進(jìn)步，Die體積越來(lái)越小，但一般還是需要一個(gè)MEMS的Die和一個(gè)ASIC的Die。
美新采用專(zhuān)有的技術(shù)，將MEMS技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝完美結(jié)合，直接在ASIC材料表面集成了AMR磁阻材料，并采用獨(dú)創(chuàng)的斜坡結(jié)構(gòu)來(lái)感測(cè)Z軸方向的磁場(chǎng)信號(hào)。這樣高度集成的單芯片設(shè)計(jì)，并采用了晶圓級(jí)的封裝，鑄成了業(yè)界最小尺寸的三軸磁傳感器。
2、數(shù)倍或數(shù)十倍領(lǐng)先于同級(jí)別產(chǎn)品
磁傳感器在電子設(shè)備中最常見(jiàn)的應(yīng)用是感測(cè)地球磁場(chǎng)的方向，我們將此應(yīng)用稱(chēng)為電子羅盤(pán)（eCompass）。電子羅盤(pán)容易受到周?chē)h(huán)境中各類(lèi)的軟磁和（或）硬磁的磁場(chǎng)干擾而造成方向失準(zhǔn)。
對(duì)此，美新在軟件方面提供了成熟的、可定制的算法來(lái)校準(zhǔn)方向。然而，當(dāng)干擾磁場(chǎng)非常大的時(shí)候，磁感應(yīng)元件內(nèi)部會(huì)殘留明顯的剩磁，軟件校準(zhǔn)算法對(duì)此無(wú)能為力；
MMC5603NJ在芯片設(shè)計(jì)上使用了Auto Set/Reset的機(jī)制。此機(jī)制是在磁感應(yīng)元件的敏感極上進(jìn)行正反兩個(gè)方向上的成對(duì)操作，可以消除磁傳感器內(nèi)部固有的offset，并且抵消時(shí)間、溫度等變化等因素帶來(lái)的漂移。
MMC5603NJ的溫漂只有±0.01μT/℃，遠(yuǎn)低于同類(lèi)產(chǎn)品。因此，MMC5603NJ能在各種苛刻的使用環(huán)境下保持始終如一的測(cè)量精度和穩(wěn)定可靠的性能。
此外，MMC5603NJ還提供了20/18/16位的可選擇的靈敏度，最高可達(dá)1000Hz的數(shù)據(jù)輸出速率，RMS噪聲水平最低為0.15μT，磁滯僅為0.02%，使得快速校準(zhǔn)甚至免校準(zhǔn)的電子指南針成為可能...
以上主要性能參數(shù)，與市場(chǎng)上同級(jí)別產(chǎn)品相比較，MMC5603NJ保持?jǐn)?shù)倍或數(shù)十倍的領(lǐng)先。
小結(jié)
美新深耕磁傳感技術(shù)多年，在基于AMR技術(shù)的磁傳感器的設(shè)計(jì)、制造和應(yīng)用等方面積累深厚,并且還首創(chuàng)將高性能的AMR磁傳感器引入智能手機(jī)市場(chǎng)。
作為全新一代基于AMR技術(shù)的三軸磁傳感器，美新的MMC5603NJ已廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦等眾多消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品中，也是目前全球出貨量最大的基于AMR技術(shù)的磁傳感器之一。
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